据中国政府采购网公示，上海微电子配备（集团）股份有限公司中标步进扫描式光刻机项目，成交金额1.1亿元，投标方为科学技能部。据悉，上海微电子已于本年5月官宣完成90nm ArF光刻机量产。

  有剖析称，上海微电子中标光刻机，半导体设备范畴有望首先获益。步进扫描式光刻机作为芯片制作的关键设备，其商业化落地或将逐渐推进半导体设备环节的国产化进程。国产AI芯片工业也将迎来开展关键，若未来光刻机技能进一步打破，可为国产AI芯片制作供给更先进的设备支撑，助力提高老练制程及高端芯片的自主可控才能。

  中证半导体资料设备主题指数聚集半导体资料与设备范畴，其间半导体设备占比约62%，有望在国产化工业趋势下展示较好弹性；上证科创板人工智能指数聚集科创板AI工业链企业，芯片相关权重占比在同类指数中排名榜首，且榜首大权重股为典型的国产AI算力标的。

  半导体设备ETF易方达（159558）、科创人工智能ETF（588730）别离盯梢以上指数，助力出资者掌握芯片自主可控出资机会。