易游yy米乐:ASML CEO:估计 High NA EUV 光刻机 2027~2028 年用于大规模量产
来源自:易游yy米乐 点击数:1 发布时间:2025-12-16 22:31:45
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IT之家 12 月 15 日音讯,ASML 首席执行官 Christophe Fouquet(克里斯托夫・富凯 / 傅恪礼)在公司总部承受彭博社专访时称,他估计 High NA EUV 光刻机将于 2027~2028 年正式投入先进制程的大规模量产作业中
现在在导入新一代图画化技能上最活跃的是英特尔代工,其支撑 High NA EUV 的 Intel 14A 节点将在 2027 年正式推出。
Fouquet 表明,High NA EUV 光刻机现在正由英特尔等客户测验,成果显现新设备的成像和分辨率体现杰出,该企业 2026 年的使命之一是与客户协作将设备的停机时刻最小化。
Fouquet 还说到,ASML对未来 10~15 年的大致技能道路已有必定的概念。该企业已发动下一代 Hyper NA EUV 的研讨,为本世纪 30 时代的投运打下根底。

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